Здравствуйте , Вы забыли включить компенсацию на радиус и ещё - ошибка в кадре 132 остановка шпинделя раньше чем выход по Z
O0021
N100G00G17G21G40G49G80G90
N102G91G28Z0.
N104T1M06
N106G00G17G90G54X0Y0S800M03
N108G43H1Z50M08
G42D1X5.
N110#100=41
N112#101=1
N114#102=#100-#101
N116WHILE[#102NE1]DO1
N118#103=SQRT[#100*#100-#102*#102]
N120G02X#103Z#102R50F0.5
N122G02X#103I-#103F0.5
N124#101=#101+1
N126GOTO114
N128END1
N130M09G40
N134G91G28Z0.
N136G28X0.Y0.
М05
N138G90
N140M30
%
попробуйте так